Интерферометр (белый свет)


Высокоточный интерферометр белого света для бесконтактного измерения расстояний и толщин

Инновационные интерферометры белого света от Micro-Epsilon стали эталоном в области высокоточных измерений расстояний и толщин. Эти датчики обеспечивают стабильные результаты измерений с субнанометровым разрешением, предлагая сравнительно большой диапазон измерения и расстояние смещения. Интерферометры доступны в 3 сериях: IMS5400-DS для высокоточных промышленных измерений расстояний, IMS5400-TH для точных измерений толщины и IMS5600-DS для измерения расстояний с пикометровым разрешением.

 
Характеристики
  • Абсолютное измерение расстояния с нанометровой точностью
  • Независимые от расстояния измерения толщины
  • Лучший в своем классе: разрешение <30 пикометров (IMS5600-DS)
  • Высокая стабильность сигнала за счет новых алгоритмов оценки и активной температурной компенсации
  • Большое расстояние смещения
  • Простая настройка параметров через веб-интерфейс
  • Оптимизированные для отрасли датчики с прочным металлическим корпусом и гибкими кабелями
  • Датчики и кабели для вакуума

Интерферометр для промышленности и автоматизации

Промышленный интерферометр белого света состоит из прочного сенсора, очень гибкого сенсорного кабеля и контроллера в алюминиевом корпусе, который может быть установлен на DIN-рейку. Контроллер имеет активный контроль температуры, который компенсирует изменения температуры окружающей среды и, таким образом, обеспечивает огромную стабильность температуры. Благодаря своей прочной конструкции интерферометр может быть интегрирован в промышленную среду. Длина кабеля до 10 м также позволяет пространственно разделить датчик и контроллер. Для измерительных задач в чистых помещениях и в вакууме доступны подходящие для вакуума датчики, кабели и аксессуары для ввода кабеля.

 

Исключительное разрешение по оси Z и небольшое световое пятно позволяют измерять мельчайшие детали и структуры

Датчики интерферометра обеспечивают разрешение субнанометров. Кроме того, они создают световое пятно 10 мкм во всем диапазоне измерения. Это позволяет измерять мелкие детали, такие как структуры на полупроводниках и миниатюрные электронные компоненты. Световое пятно визуализируется пилотным лазером и облегчает юстировку датчика.

 

Легкость использования через веб-интерфейс

Благодаря удобному веб-интерфейсу не требуется дополнительное программное обеспечение для настройки контроллера и датчиков. Веб-интерфейс доступен через соединение Ethernet и позволяет быстро и легко настроить, например, усреднение, скорость измерения и предварительные настройки.

 

Современные интерфейсы для интеграции в машины и системы

Контроллер предлагает интегрированные интерфейсы, такие как Ethernet, EtherCAT и RS422, а также дополнительные соединения энкодера, аналоговые выходы, входы синхронизации и цифровые входы / выходы. Это позволяет интегрировать интерферометр во все системы управления и производственные программы.

Аналоговый RS422 Ethernet Ethercat